정밀한 화학약품 혼합과 안정적인 공급시스템
(주)씨에스와이의 CDU(Chemical Dispense Unit)는 반도체 및 전자 산업의 습식 공정에 필요한 각종 화학약품을
정확한 비율로 혼합하고, 공정 장비에 안정적으로 공급하기 위한 자동화 약품 공급 시스템입니다.
연구 개발 환경부터 소량 생산 라인까지 다양한 환경에서 적용 가능하도록 설계되어, 정밀도·안정성·작업자 안전을
모두 고려한 구성이 특징입니다.
주요 특징
🔹 정밀 혼합 제어 시스템
- SPM, SC-1, BOE 등 주요 케미컬의 농도 비율 혼합 자동화
- 필요 시 농도 모니터링 및 알람 기능 구현 가능
🔹 Touch Panel 기반 UI
- 온도, 유량, 농도, 탱크 잔량 등 실시간 모니터링
- 알람 및 인터락 시스템 내장으로 안정성 확보
🔹 사용자 맞춤 설계
- 고객의 공정 조건, 약품 종류, 공급 방식(중력/펌프) 에 따라 유연하게 커스터마이징 가능
🔹 안전 설계 적용
- 케미컬 누액 감지 센서, 도어 인터락, 환기 설비와 연동
- 공정 중 작업자 안전 확보
적용 분야
정밀한 화학약품 혼합과 안정적인 공급시스템
(주)씨에스와이의 CDU(Chemical Dispense Unit)는 반도체 및 전자 산업의 습식 공정에 필요한 각종 화학약품을
정확한 비율로 혼합하고, 공정 장비에 안정적으로 공급하기 위한 자동화 약품 공급 시스템입니다.
연구 개발 환경부터 소량 생산 라인까지 다양한 환경에서 적용 가능하도록 설계되어, 정밀도·안정성·작업자 안전을
모두 고려한 구성이 특징입니다.
주요 특징
🔹 정밀 혼합 제어 시스템
- SPM, SC-1, BOE 등 주요 케미컬의 농도 비율 혼합 자동화
- 필요 시 농도 모니터링 및 알람 기능 구현 가능
🔹 Touch Panel 기반 UI
- 온도, 유량, 농도, 탱크 잔량 등 실시간 모니터링
- 알람 및 인터락 시스템 내장으로 안정성 확보
🔹 사용자 맞춤 설계
- 고객의 공정 조건, 약품 종류, 공급 방식(중력/펌프) 에 따라 유연하게 커스터마이징 가능
🔹 안전 설계 적용
- 케미컬 누액 감지 센서, 도어 인터락, 환기 설비와 연동
- 공정 중 작업자 안전 확보
적용 분야
반도체 전공정 Wet Process
디스플레이 Glass Etching & Cleaning
R&D Lab / Pilot Line / CMP 전처리
임플란트 및 의료 소재 표면 처리