씨에스와이 반도체, 디스플레이, 정밀 소재 공정에 특화된 초정밀 습식 세정 장비(Integrated Wet Station)입니다.
SC-1, SPM, 린스(Rinse), 드라이(Dry) 공정이 하나의 설비에 통합되어 있어, 자동 로딩부터 최종 건조까지 연속 처리 가능한 고효율 설비입니다.
미세한 입자 제거, 잔류 화학물 제거, 표면 손상 최소화를 동시에 만족시키는고순도 DI 세정 + 정밀 약액 제어 (옵션)기술을 기반으로 고객 공정의
수율 향상과 안정성 확보를 지원합니다.
🔹 특징
PLC 기반 자동 제어 시스템 (LSIS XBC 시리즈)
자동/수동 모드 전환 가능
누액 감지, 가스 센서, 도어 인터락 등 다중 안전 시스템 탑재
CE 인증 및 EN ISO 14738 기준에 따른 인체공학적 설계
PFA/PVC 배관으로 높은 내약품성 확보
6 m³/min 배기 설계로 안정적 작업 환경 유지
🔹 적용 화학약품
황산(H₂SO₄), 과산화수소(H₂O₂), 암모니아(NH₄OH), DI Water
정량 드럼 공급 + 센서 기반 자동 보충 시스템
본 홈페이지의 모든 콘텐츠(텍스트, 이미지, 도면, 영상 등)는 ⓒ (주)씨에스와이 / CSY Co., Ltd.의 자산이며, 「저작권법」 및 「부정경쟁방지법」에
따라 보호받고 있습니다
씨에스와이 반도체, 디스플레이, 정밀 소재 공정에 특화된 초정밀 습식 세정 장비(Integrated Wet Station)입니다.
SC-1, SPM, 린스(Rinse), 드라이(Dry) 공정이 하나의 설비에 통합되어 있어, 자동 로딩부터 최종 건조까지 연속 처리 가능한 고효율 설비입니다.
미세한 입자 제거, 잔류 화학물 제거, 표면 손상 최소화를 동시에 만족시키는고순도 DI 세정 + 정밀 약액 제어 (옵션)기술을 기반으로 고객 공정의
수율 향상과 안정성 확보를 지원합니다.
🔹 특징
PLC 기반 자동 제어 시스템 (LSIS XBC 시리즈)
자동/수동 모드 전환 가능
누액 감지, 가스 센서, 도어 인터락 등 다중 안전 시스템 탑재
CE 인증 및 EN ISO 14738 기준에 따른 인체공학적 설계
PFA/PVC 배관으로 높은 내약품성 확보
6 m³/min 배기 설계로 안정적 작업 환경 유지
🔹 안전 장치 및 인터락 시스템
비상 정지 버튼 (EMO)
도어 센서, 누액 감지기, 가스 검출기
배기 상태 감지 센서
자동 인터락 시 장비 전체 작동 정지 및 경고 표시
🔹 적용 화학약품
황산(H₂SO₄), 과산화수소(H₂O₂), 암모니아(NH₄OH), DI Water
정량 드럼 공급 + 센서 기반 자동 보충 시스템
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