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CSY의 Local Chemical Supply System는 반도체 또는 Wet Process 공정이 적용되는 산업의 Wet 장비에 Chemical을 공급설비로서 안정적인 Chemical 을 공급해주는 설비로 다양한 안전장치가 적용되어 있다.
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CSY의 Local Slurry Supply System는 반도체 또는 CMP공정에 Slurry를 공급해주는 간이 공급 장치로 안정적인 SLurry 를 공급해주는 설비로 다양한 안전장치가 적용되어 있으며 이동식이라는 특징이 있어 필요한 설비의 Chemical 공급이 가능하다.
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Features
CSY의 Simple Chemical supply System는 반도체 또는 Chemical 공정에 Chemical을 공급해주는 간이 공급 장치로 다양한 안전장치가 적용되어 있으며 이동식이라는 특징이 있어 Chemical 평가가 필요한 설비가 있는곳으로 이동설치후 작동이 가능하다.
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